晶圓再生指的是通過(guò)去除損耗控擋片表面的雜質(zhì)和缺陷，使處理后的晶圓達到新片的標準，實(shí)現其循環(huán)再利用，進(jìn)而為企業(yè)節約大量成本。至微項目以14納米晶圓廠(chǎng)的再生晶圓需求為設計基礎，是服務(wù)于中國半導體高階市場(chǎng)的首條投產(chǎn)的12英寸晶圓再生產(chǎn)線(xiàn)。項目全面達產(chǎn)后，可形成每年168萬(wàn)片晶圓再生及120萬(wàn)件零部件清洗的能力，滿(mǎn)產(chǎn)后年產(chǎn)值至少可超過(guò)6億元。
至純集團董事長(cháng)蔣淵表示，至純的晶圓再生業(yè)務(wù)在今年3月就已開(kāi)始試生產(chǎn)，將于本月正式量產(chǎn)，企業(yè)將重研發(fā)，抓質(zhì)量，立志成為國內領(lǐng)先的半導體工藝裝備材料提供商，代表本土品牌參與國際競爭。
新站高新區黨工委書(shū)記、管委會(huì )主任王連貴在致辭中指出，將繼續主動(dòng)為企業(yè)提供精準服務(wù)，支持企業(yè)發(fā)展，促進(jìn)項目量產(chǎn)后盡早達產(chǎn)滿(mǎn)產(chǎn)，推動(dòng)合肥集成電路產(chǎn)業(yè)更加高質(zhì)量發(fā)展。
近年來(lái)，合肥已成為國內集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展最快、成效最顯著(zhù)的城市之一，而新站高新區則是合肥市“芯屏”產(chǎn)業(yè)的“主陣地”，已成為全國規模最大、技術(shù)方向最齊全的新型顯示產(chǎn)業(yè)基地。隨著(zhù)合肥至微項目1期的量產(chǎn)，新站成為滿(mǎn)足“晶圓再生”需求的重要基地，也為合肥市集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入了新的動(dòng)力。
